一：真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

二：真空鍍膜機有三個泵的：機械泵（一般是油旋轉泵），增壓泵又叫羅茨泵

，高真空泵（擴散泵或者分子泵）

機械泵

是從大氣開始工作的，機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的松緊度有關系，當電機的皮帶比較松，電機轉速很慢的時候，機械泵的排氣效果也會變差，所以要經常保養，點檢，機械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少，達不到密封效果，泵內會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般，在油位在線下0.5厘米即可。

增壓泵：

它是具有一對同步高速旋轉的雙葉形或多葉形轉子的機械泵，由于它的工作原理與羅茨鼓風機相同，所以又可以叫羅茨真空泵，此泵在100-1帕壓強范圍內有較大的抽氣速度，它彌補了機械泵在此范圍內排氣能力不足的缺點，此泵不能從大氣開始工作，也不能直接排出大氣，它的作用僅僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差，其余的則需要機械泵來完成，因此，它必須配以機械泵作為前級泵。

油擴散泵：機械泵的極限真空只有10-2帕，當達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散泵。

油擴散泵

應用壓強范圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，里面主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。

當擴散泵的油被電爐加熱時，產生的油蒸汽提供前置壓強，機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重復循環來實現抽氣的。

操作程序

真空鍍膜機操作程序具體操作時請參照該設備說明書

和設備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標注說明。

① 檢查真空鍍膜機各操作控制開關是否在"關"位置。

② 打開總電源開關，設備送電。

③ 低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。

④ 安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鐘罩內各部位，保證無任何雜質污物。

⑤ 落下鐘罩。

⑥ 啟動抽真空機械泵。

⑦ 開復合真空計電源(復合真空計型號:Fzh-1A)。

a.左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

b.低真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

⑧ 當低真空表"2"內指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

⑨ 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

⑩ 低壓閥拉出。重復一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉至指向2區段測量位置。低真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥桿順時針旋轉)。

? 等低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。

a. 發射、零點測量鈕"9"旋轉至指向發射位置。

b. 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

? 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空表"5"內指針指向5。

? 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

? 旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

? 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

? 旋轉標準調節鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

? 旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超過1時，再把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

? 當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鐘罩內被鍍件PVDF膜轉動。

? 開蒸發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

? 右手旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋轉升壓。

a. 從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

b. 當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。

c. 鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。

d. 右手旋轉調壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

21. 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重復?操作動作。

22. 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。

23. 低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鐘罩。

24. 鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一面向下 (原下面已鍍一層鋁膜面向上)。緊固在轉動圓盤上。

25. 落鐘罩。開機械泵。

a. 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

b. 當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

c. 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

d. 當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

e. 當低壓真空表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

f. 由?開始重復操作至? 。

26. PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后，按順序關閉規管燈絲、高壓閥、機械泵、擴散泵。把低壓閥拉出。鐘罩充氣，充氣完畢后升鐘罩。取出工件，做好鐘罩內清理工作。

a. 落下鐘罩。

b. 開機械泵，抽3~5min，停機械泵。

c. 切斷供電總開關。

d. 1h后再關閉冷卻水。操作全部完成。

27. 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電后，先讓機械泵啟動工作3~5min后，再轉入正常生產。